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扩散硅压力传感器工作原理

文章出处:人气:3发表时间:2019-6-5 14:31:30

导读:扩散硅压力传感器工作原理 

扩散硅压力传感器的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的测量。 

扩散硅压力传感器的特点 

1、适合制作小量程的传感器 

硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点附近的低量程段无死区,制作压力传感器的量程可小到几个Kpa。 

2、输出灵敏度高 

硅应变电阻的灵敏因子比金属应变计高50~100倍,故相应的传感器的灵敏度就很高,一般量程输出为100mv左右。因此对接口电路无特殊要求,使用比较方便。 

3、精度高 

由于传感器的感受、转换和检测三部分由同一个元件实现,没有中间转换环节,重复性和迟滞误差较小。由于单晶硅本身刚度很大,变形很小,保证了良好的线性。 

4、由于工作单性形变低至微应变数量级,弹性芯片大位移在亚微米数量级,因而无磨损,无疲劳,无老化,寿命长达1×103压力循环,性能,可靠性高。 

5、由于硅的优良化学防腐性能,即使是非隔离型的扩散硅压力传感器,也有相当程度的适应各种介质的能力。 

6、由于芯片采用集成工艺,又无传动部件,因此体积小,重量轻。 




扩散硅压力传感器工作原理

防腐型压力变送器提供由上海云鸥自动化仪表有限企业提供  接着灌充液将压力传递到传感器中心的传感膜片上。传感膜片是一个张紧的弹性元件,其位移随所受压而变化(对于GP表压变送器,大气压如同施加在传感膜片的低压侧一样)。AP绝压变送器,低压侧始终保持一个参考压力。传感膜片的大位移量为0.004英寸(0.1毫米),且位移量与压力成正比。两侧的电容极板检测传感膜片的位置。高115151工作原理工作时传感膜片和电容极板之间电容的差值被转换为相应的电流。低压侧的隔离膜片和灌充液将过程压力传递给灌充液电压或数字HART(高速可寻址远程发送器数据公路)输出信号。 

然后将其转变成4~20mA DC信号输出。3051智能压力变送器可与HART手操器相互通讯,通过它进行设定。智能型液晶表头采用智能按键可修改量程。密度和压力气体或蒸汽的液位概述305151智能压力变送器或称智能压力变送器用于测量液体显示单位,温度等等,压力变送器过压强度高,稳定性好。输入量程为0~0.25KPa,0~10KPa,0~40KPa。 

用于测量液体、气体或蒸汽的液位、密度和压力,然后转变成4~20mA DC信号输出。3051GP/1151GP智能压力变送器可与HART手操器相互通讯,通过它进行设定,或与上位机组成现场系统。3051GP/1151GP现场调整式智能压力变送器可脱离手操器,通过按键方式实现现场调零、组态等操作。


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